Bowman Serie W

BOWMAN SERIE W
Strumento a raggi X con ottica a policapillare per analisi di rivestimenti sottili a µ-spot, fino a 7.5 µm

Descrizione prodotto

BOWMAN è lieta di introdurre la terza generazione di strumenti a raggi X con ottica a policapillare. Grazie al µ-spot da 7.5 µm di FWHM (il più piccolo spot sul mercato), ad un alto flusso di raggi X primari e ad un rivelatore SDD di ampia area di ultimissima generazione, lo strumento serie W è in grado di raggiungere performance mai raggiunte in pochi secondi di analisi.

Una fotocamera ad ingrandimento 150X è utilizzata per focalizzare al massimo il punto di analisi di interesse; una fotocamera secondaria a bassa ingrandimento è utilizzata per avere una immagine nel suo insieme del campione. Il sistema a doppia videocamera consente agli operatori di vedere l’intero campione e successivamente ingrandire e selezionare il particolare sul campione.
Il serie W ha una tavola XY programmabile con una precisione di spostamento inferiore a +/- 1. La capacità di mappatura 3D del sistema può essere utilizzata per visualizzare la topografia di un rivestimento di un campione come ad esempio un wafer di silicio.

La configurazione standard del serie W comprende ottica da 7,5 μm con tubo in molibdeno (cromo e tungsteno opzionali) e un rivelatore large SDD ad alta risoluzione che elabora oltre 2 milioni di conteggi al secondo.

Il serie W è il settimo modello degli strumenti XRF di Bowman. Come altri nel portafoglio, misura simultaneamente fino a 5 strati di rivestimento ed è gestito dal software Xralizer per quantificare lo spessore del rivestimento. Il software Xralizer combina controlli intuitivi con tasti rapidi di funzione che consentono di risparmiare tempo. Il software, inoltre, semplifica la creazione di nuove applicazioni da parte dell’utente

Pur essendo uno strumento altamente evoluto, la serie W mantiene tutte le caratteristiche di semplicità di service che caratterizzano gli strumenti della Bowman. La semplicità di accesso alla testa di analisi riduce i tempi di assistenza. L’ingombro ridotto, un solo cavo di comunicazione USB tra PC e strumento e i controlli sul pannello frontale, rendono la serie W di facile utilizzo.

Caratteristiche

Ottica a policapillare che garantisce sul campione un flusso primario di raggi X fino a 5 volte superiore rispetto ad un classico strumento a collimatori

Doppia telecamera con single click da 2x a 250x :

Vantaggi del sistema a policapillare
  • Ottica a policapillare che garantisce sul campione un flusso primario di raggi X fino a 5 volte superiore rispetto ad un classico strumento a collimatori
  • l’ottica policapillare garantisce le migliori performance con tempi di analisi brevi su µ-spot
Analisi di film sottili
  • Spot del fascio primario da 7.5µm di FWHM con un incredibile accuratezza e precisione
  • Tempi di analisi brevi per ottenere una deviazione standard < 1% relative per spessori inferiori a 0.025 µm
  • Fornito con un detector a grande area di rilevazione SDD
Mappa 3D con scansione continua

SPECIFICHE STRUMENTALI

Tubo a raggi X50 W, anodo in Mo con ottica policapillare Flex-Beam FWHM@7.5µm

Rivelatore: Silicon drifted detector SDD con risoluzione di 135eV

Numero di strati e elementi analizzabili: 5 strati (4 strati + base) and fino a 10 elementi in ogni singolo strato. Analisi elementare fino a 25 elementi simultaneamente

XYZ programmabile: XYZ travel: 300mm x 400mm x 100mm
accuratezza asse-X: 2.5um; precisione asse-X: 1um
accuratezza asse-Y: 3um; precisione asse-Y: 1um
accuratezza asse-Z: 1.25um; precisione asse-Z: 1um

Filtri: 4 filtri primari

Distanza focale: Fissa a 6 mm

Catena di formazione segnale: Analizzatore digitale multicanale a 4096 canali con selezione del tempo di formazione segnale, correzione tempo morto e picchi di escape

Computer: Intel, CORE i5 3470 Processor (3.2GHz), Memoria 8GB DDR3, Microsoft Windows 10 Prof, 64 bit o equivalente

Videocamera: 1/4″ CMOS-1280×720 VGA resolution, 250X con doppia telecamera or 45X singola telecamera con monitor 15″

Alimentazione: 150W, 100~240 volts, 47Hz – 63Hz

Condizioni di lavoro: da 10°C a 40°C fino al 98% di umidità non condensante

Peso: 190 kg

Dimensioni interne: Altezza: 735 mm, Larghezza: 914 mm, Profondità: 100 mm

Dimensioni esterne: Altezza: 940 mm, Larghezza: 990 mm, Profondità: 787 mm

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